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供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制。用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器精確調(diào)節(jié)壓力(0.01兆帕)，獲得穩(wěn)定的壓力，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求。一級減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當(dāng)前壓力

所有氣體管路都由高質(zhì)量、退火型、高潔凈無縫連接的不銹鋼管組成。銅管也可使用在氣體管路的末端（低壓端）、或是某些對不銹鋼金屬過敏起反應(yīng)的氣體?；蚴菍怏w純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。